研究発表 - 井上 雅彦
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スパッタエッチングレートデータベースサーバの構築
2003年度 実用表面分析講演会 PSA-03 国内会議 ポスター発表
2003年11月 -
High Resolution Auger Depth Profiling by Sub-keV Ion Sputtering
4th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Device 国際会議 口頭発表(一般)
2003年10月 -
FIB における最小イオン照射損傷 cross-sectionning -sputtering の限界について
日本顕微鏡学会 分析電子顕微鏡分科会 第19回分析電子顕微鏡討論会 国内会議 口頭発表(一般)
2003年09月 -
高分解能スパッタ深さ方向分析のための小型低速イオン銃の開発
応用物理学会 第50回応用物理関係連合講演 国内会議 口頭発表(一般)
2003年03月 -
低速イオン銃を用いた高分解能深さ方向分析
第20回表面分析研究会 国内会議 口頭発表(一般)
2003年02月 -
A novel low energy ion gun for ultra-shallow dopant depth profiling
2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2002 国際会議 口頭発表(一般)
2002年11月 -
極表面分析用低速イオン銃の開発
日本学術振興会マイクロビームアナリシス第141委員会第109回研究会 国内会議 口頭発表(一般)
2002年09月 -
電子線照射下での絶縁物の表面電位および帯電量の定量測定(2)
応用物理学会 第49回応用物理関係連合講演会 国内会議 口頭発表(一般)
2002年03月 -
電子線照射下での絶縁物の表面電位および帯電量の定量計測(1)
応用物理学会 第49回応用物理関係連合講演会 国内会議 口頭発表(一般)
2002年03月 -
Sputter Etching Rate Ratio of GaAs to SiO2 by Ar+ Ion Beam
2nd International Symposium on Practical Surface Analysis PSA-01 Nara, Japan 国際会議 口頭発表(一般)
2001年11月 -
Development of a Compact Floating Type Low Energy Ion Gun for High Resolution Sputter Depth Profiling
13rd International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry SIMS-XIII 国際会議 口頭発表(一般)
2001年11月 -
スパッタエッチングレートデータベース(SERD)プロジェクト
第4回実用表面分析講演会 PSA-00 国内会議 口頭発表(一般)
2000年12月 -
Sputter Etching Rate Database (SERD) Project of SASJ
3rd Korea Japan International Symposium on Surface Analysis KyongJu, Korea 国際会議 口頭発表(一般)
2000年11月 -
全波整流電源を用いた GDS 装置の試作
第4回実用表面分析講演会 PSA-00 国内会議 ポスター発表
2000年10月 -
酸素イオンビームを用いたAES深さ方向分析
JEOL EPMA・表面分析ユーザーズミーティング 国内会議 口頭発表(一般)
2000年10月 -
AlN薄膜結晶成長過程における蓄積効果のオージェ電子分光法による解明
応用物理学会 第47回応用物理関係連合講演会 国内会議 口頭発表(一般)
2000年03月 -
グロー放電発光分光分析のための半波整流電源の試作
第3回 実用表面分析講演会 PSA-99 国内会議 ポスター発表
1999年11月 -
Self-restoring functioning of Zr/W(100) Surface as a thermal field emitter
2nd OIT/SU/NJU Symposium on electronic and information engineering 国内会議 口頭発表(一般)
1997年09月 -
Zr-O/W(100)の高温表面物性
日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第130回研究会 国内会議 口頭発表(一般)
1995年07月 -
Zr-O/W(100)の高温表面物性
日本学術振興会マイクロビームアナリシス第141委員会第83回研究会 国内会議 口頭発表(一般)
1995年06月